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摘 要： 根據(jù)介質(zhì)上電潤(rùn)濕的基本原理，對(duì)用于數(shù)字微流控系統(tǒng)的“三明治”結(jié)構(gòu)器件中影響液滴輸運(yùn)和產(chǎn)生的因素進(jìn)行了理論分析，并研制出了一種新型液滴產(chǎn)生器原型：液體被夾在上下兩個(gè)電極板之間；下極板采用硅作為襯底、LPCVD摻雜多晶硅微電極陣列上熱氧化生長(zhǎng)的的SiO2薄膜作為介質(zhì)屋，上極板采用ITO透明導(dǎo)電玻璃板作為地電極；另外，在上下極板的表面都均勻旋轉(zhuǎn)涂覆了一層30m厚的Teflon薄膜為表面疏水層．實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，在空氣氣氛中，該器件在10Hz70V的脈沖電壓下成功地實(shí)現(xiàn)了從蓄水池中對(duì)去離子水滴的分發(fā)．
