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介紹了一種基于數(shù)控雕刻機(jī)的簡(jiǎn)捷微流控芯片制作方法。結(jié)合數(shù)控雕刻機(jī)加工模式中平行粗加工和等高線細(xì)加工的優(yōu)點(diǎn)，設(shè)計(jì)并提出了一種不對(duì)稱路徑加工方法，有效避免了微結(jié)構(gòu)在加工過(guò)程中出現(xiàn)斷裂、扭曲及其附近大量殘?jiān)逊e等現(xiàn)象。相對(duì)于傳統(tǒng)基于微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS) 工藝的微流控芯片加工過(guò)程(涂膠、曝光、顯影等工藝) ，該方法簡(jiǎn)捷易行，整個(gè)加工過(guò)程僅需3 ho 實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明芯片通暢性與密封性良好，滿足實(shí)驗(yàn)妥求。這種制作方法可以極大減少微流控芯片的加工時(shí)間和成本，為實(shí)驗(yàn)室微流控芯片的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和前期原理驗(yàn)證提供了一種簡(jiǎn)捷有效的途徑。
